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催化燃烧废气处理可分为三种1、预热式。 预热式是催化燃烧的最基本的流程形式，其基本原理见图1。有机废气温度在100℃以下、浓度也较低时，热量不能自给，因此在进入反应器前需要在预热室加热升温。通常采用煤气或电加热将废气升温至催化反应所需的起燃温度；低温等离子废气处理设备燃烧净化后的气体在热交换器内与未处理的废气进行热交换，以回收部分热量。 2、自身热平衡式。 有机废气温度高且有机物含量较高，通常只需要在催化燃烧反应器中设置电加热器供起燃时使用，通过热交换器回收部分净化气体所产生的热量，低温等离子废气处理正常操作下就能够维持热平衡，不需要补充热量. 3、吸附-催化燃烧。 当有机废气的流量大、浓度低、温度低、低温等离子废气处理采用催化燃烧需消耗大量的燃料时，可先采用吸附手段将有机废气吸附于吸附剂上并进行浓缩，然后通过热空气吹扫，使有机废气脱附成为高浓度有机废气（可浓缩10倍以上）后再进行催化燃烧。
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